Hệ thống giám sát CMP của Advantech: Giúp quản lý chéo dễ dàng và nhanh chóng trong sản xuất chất bán dẫn
21/07/2021
Quy trình CMP: chìa khóa để sản xuất chất bán dẫn cao cấp
Quy trình CMP: chìa khóa để sản xuất chất bán dẫn cao cấp
Đánh bóng cơ học hóa học, viết tắt là CMP, đóng vai trò thiết yếu trong sản xuất chất bán dẫn. Với nhu cầu toàn cầu về tích hợp và thu nhỏ vi mạch tiếp tục tăng lên, mức độ phức tạp của thiết kế và chế tạo vi mạch đã tăng lên đáng kể. Một chìa khóa quan trọng để đạt được mức độ lặp lại và sự phù hợp cao trong chế tạo tấm wafer là quy trình CMP. Quy trình CMP làm mịn các thành phần điện tử trên mỗi tấm wafer để khi các lớp linh kiện điện tử chồng lên nhau, chúng sẽ được xếp chồng lên nhau và căn chỉnh với độ chính xác, tạo thành địa hình bề mặt chính xác, mịn của tấm wafer.
Sự kịp thời: một nhu cầu chung không đạt được do hệ thống sản xuất rộng lớn
Sự kịp thời: một nhu cầu chung không đạt được do hệ thống sản xuất rộng lớn
Nhận thấy rằng CMP là một quy trình quan trọng của công nghệ sản xuất chất bán dẫn, hầu hết các nhà máy đều chứa một khu vực CMP được trang bị các máy cụ thể để thực hiện nhiệm vụ. Tuy nhiên, có một số vấn đề phổ biến mà các nhà sản xuất gặp phải khi quản lý máy CMP. Một trong số đó là sự nhanh chóng. Khi máy xảy ra hỏng hóc, trước tiên người vận hành phải “phát hiện” máy trong cái tủ lớn có nhiều máy khác; sau đó, anh / cô ấy phải đi qua những lối đi dài để “tiếp cận” thiết bị điều khiển của chiếc máy đó.
Quản lý chéo không hiệu quả: việc chia sẻ năng lực có thể trở nên lãng phí hơn
Quản lý chéo không hiệu quả: việc chia sẻ năng lực có thể trở nên lãng phí hơn
Một vấn đề khác mà các nhà sản xuất chất bán dẫn có thể gặp phải là quản lý chéo các khu sản xuất. Ví dụ, TSMC có tới năm kho tàng tại Khu Công nghiệp và Khoa học Tân Trúc của Đài Loan, có diện tích khoảng 587.110 mét vuông. Việc phân nhóm các tấm này nhằm mục đích tạo điều kiện chia sẻ năng lực, do đó giảm thiểu chi phí và tối đa hóa sản xuất wafer. Tuy nhiên, việc giao tiếp và quản lý giữa các bộ phận khác nhau có thể gián tiếp và tốn thời gian, gây lãng phí thêm thời gian và công sức cho các nhà sản xuất chip.
Thay đổi cài đặt nội bộ? Lưu ý về sự không tương thích
Thay đổi cài đặt nội bộ? Lưu ý về sự không tương thích
Một giải pháp mà mọi người có thể nghĩ đến là thay đổi mạch điện hoặc cài đặt lập trình trong các máy CMP này. Tuy nhiên, khả năng không tương thích có thể xảy ra bằng cách thay đổi các mạch hiện có hoặc thêm một số bộ phát triển phần mềm nhất định. Điều này sẽ dẫn đến sự không ổn định của các máy CMP và các thủ tục bảo trì phức tạp, tốn kém, mà tổn thất chắc chắn nhiều hơn lợi nhuận. Để giải quyết những vấn đề này, Advantech cung cấp Giải pháp Hệ thống Giám sát CMP sử dụng mô-đun I/O, Máy chủ thiết bị nối tiếp và Máy tính tự động hóa.
Các mô-đun I/O có khả năng thích ứng cao giúp giám sát từ xa đáng tin cậy
Các mô-đun I/O có khả năng thích ứng cao giúp giám sát từ xa đáng tin cậy
Trong Hệ thống Giám sát CMP này, các mô-đun I/O từ xa như Advantech ADAM-4117, ADAM-6217 và ADAM-4055 được kết nối với đồng hồ đo lưu lượng và rơle để phát hiện tín hiệu từ mỗi máy CMP. Các mô-đun I/O này có khả năng thích ứng cao vì chúng chứa các tính năng như đi dây đơn giản, khả năng tương thích cao, đọc trạng thái thân thiện với người dùng và các biểu đồ và thống kê trực quan. Với các mô-đun I/O thích ứng cao này, hệ thống giám sát CMP có thể dễ dàng thực hiện tích hợp giữa hệ thống tự động hóa công nghiệp và hệ thống riêng của doanh nghiệp, không chỉ ngăn chặn những thay đổi về kiến trúc bên trong của máy CMP mà còn giám sát trạng thái của máy một cách linh hoạt và hiệu quả đối với nhà sản xuất bán dẫn.
Máy chủ thiết bị nối tiếp của Advantech đưa mọi máy CMP vào một mạng chia sẻ
Máy chủ thiết bị nối tiếp của Advantech đưa mọi máy CMP vào một mạng chia sẻ
Dữ liệu được thu thập thông qua các máy chủ thiết bị nối tiếp của Advantech như EKI-1522 và EKI-1524. Chúng có thể dễ dàng để cài đặt và cấu hình, hỗ trợ cả mạng có dây và không dây và cung cấp các chế độ hoạt động khác nhau để đáp ứng nhu cầu tự động hóa khắt khe trong công nghiệp. Trong Hệ thống Giám sát CMP này, chúng chuyển đổi giao thức các thiết bị nối tiếp RS-485 sang Ethernet và Modbus TCP với độ ổn định mạng được đảm bảo. Giờ đây, mọi máy CMP đều được phép kết nối và chia sẻ mạng Ethernet; hơn nữa, nhờ sự trợ giúp của các máy chủ thiết bị nối tiếp, các máy này giờ đây có thể giao tiếp với nhau ngang hàng mà không cần bất kỳ máy chủ lưu trữ trung gian nào và không yêu cầu lập trình phần mềm. Cuối cùng, dữ liệu được thu thập và lưu trữ trong máy tính tự động hóa UNO-2178A để theo dõi, quản lý và hỗ trợ bảo trì.
Advantech, một mô-đun đáng tin cậy và một nhà cung cấp đáng tin cậy
Advantech, một mô-đun đáng tin cậy và một nhà cung cấp đáng tin cậy
Bằng cách sử dụng các mô-đun và thiết bị bên ngoài, các nhà sản xuất chất bán dẫn không còn phải lo lắng về tính không tương thích và khả năng mất ổn định của máy. Bằng cách cung cấp màn hình trung tâm của dữ liệu thời gian thực toàn diện, người vận hành có thể khắc phục các sự cố máy kịp thời, ngay tại chỗ, và tất nhiên, xuyên suốt, để giảm thiểu thời gian chết, do đó tối đa hóa năng suất. Hơn nữa, Advantech cung cấp nhóm dịch vụ cụ thể phục vụ cho hệ thống để các nhà sản xuất biết rõ ai nên yêu cầu trợ giúp khi cần và ai cung cấp dịch vụ bảo trì thường xuyên. Bằng cách cung cấp hệ thống giám sát tích hợp và dịch vụ chăm sóc sau bán hàng toàn diện, các nhà sản xuất có thể tập trung vào phát triển và sản xuất trong khi Advantech hỗ trợ đảm bảo thiết bị hoạt động hết công suất.
Sản phẩm đề xuất
EKI-1520 Series
Máy chủ thiết bị nối tiếp 1 đến 4 cổng RS-232/422/485
- Cung cấp cổng Ethernet 2 x 10/100 Mbps để dự phòng mạng LAN
- Cung cấp các chế độ hoạt động chuyển hướng cổng COM (COM ảo), TCP và UDP
- Hỗ trợ lên đến 921,6 kbps và bất kỳ cài đặt tốc độ truyền nào
- Cho phép tối đa trong số 5 máy chủ để truy cập một cổng nối tiếp
- Cho phép tối đa trong số 16 máy chủ được truy cập dưới dạng chế độ máy khách TCP
- Tích hợp bảo vệ ESD 15 KV cho tất cả các tín hiệu nối tiếp
- Kiểm soát luồng dữ liệu RS-485 tự động
- Hỗ trợ đường dây tới đường dây 2 KV, đường dây nối đất 4 KV chống quá tải
